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标签：中微公司
中微公司发布其首款晶圆边缘刻蚀设备 Primo Halona
设备腔体均搭载 Quadra-arm 机械臂，精准灵活，腔体内部采用抗腐蚀材料设计，可抵抗卤素气体腐蚀，为设备的稳定性与耐久性提供保证。
