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西湖仪器实现 12 英寸碳化硅衬底自动化激光剥离,推动 SiC 产业尺寸迁移

更大的衬底尺寸扩大了可用面积,降低了边缘损失比例。国内企业天岳先进此前发布了业界首款 300mm 的 N 型碳化硅衬底。